臭氧氣體用于食品生產車間、貯藏庫與加工設備消毒是非常方便、有效的。通過化學霧化、紫外線與臭氧作消毒劑對照試驗，結論是臭氧既有效又無殘留，臭氧“抑制”了蛋糕加工設備中大腸菌群小球菌和酵母菌的生長，在生產食品的車間，空氣中微生物降低50%-70%，其食品上的細菌生長 受到很大抑制。
　　
　　速凍食品、冷飲食品、肉蛋奶制品加工車間與包裝間利用臭氧消毒效果好。同時可以去除異味污染。一般（0.5～1.0）X10-6臭氧即可達到80%以上的空氣殺菌率。